“수억 반도체 분석비 부담 컸는데… 공공 테스트베드 덕 양산 돌파구”

“처음엔 외부에 분석을 맡겼죠. 그런데 결과지를 봐도 왜 성능이 안 나오는지 알 수 없었습니다.” 반도체 장비 기업 넥서스비를 운영하는 최학영 대표는 개발 초기를 떠올리며 이렇게 말했다. D램 제조 핵심 장비인 원자층증착(ALD) 장비 개발 과정에서 공정 문제를 파악하려 했지만 외부 기관이 보내온 분석 결과지 대부분은 ‘원인 없는 데이터’에 가까웠다. 그는 “외부 분석 결과가 만족스럽지 못했지만 분석을 또 맡기자니 수억 원이 들고, 자체 분석 장비를 구비하려면 수십억 원이 들어 이도 저도 할 수 없는 상황이었다”며 “중소기업에 반도체 분석은 늘 시간과 비용의 벽이었다”고 말했다. 넥서스비가 돌파구를 찾은 곳은 경기 수원시 영통구 차세대융합기술연구원(융기원) 내 ‘경기도반도체기술센터’(센터)였다. 최 대표는 “센터는 제품을 시장에 내놓아도 되는지 확인하는 실증 테스트베드이자 공정 컨설팅 기관”이라며 “박사 연구진과 함께 시험평가서를 검토해 어느 공정이 문제인지까지 진단해줘 양산 단